据我国政府收购网公示,12月25日,上海微电子配备(集团)股份有限公司中标zycgr22011903收购步进扫描式光刻机项目,设备数量为一台,成交金额10999.985万元(约1.1亿元)。
揭露材料显现,上海微电子从属上海电气集团,为我国半导体配备范畴的中心企业,尤其在高端光刻机的研制与制作方面处于国内领头羊。本年5月,上海微电子现已官宣完成90nm ArF光刻机完成量产。
首要,此次的货品类型为SSC800/10,其间“SSC”为初次揭露的光刻机类型代号。
代号中,“SS”或代表“步进扫描式”,为当时干流精细制程的半导体极紫外光(EUV)、深紫外光(DUV)光刻机的机械工作方案。现在上海微电子量产的光刻机,包含前道制作、浸没式光刻机“SSA”“SSX”“SSB”等系列。
依据《政府收购法》,“单一来历收购”的状况,仅被答应在因货品或服务运用了无法代替的专利、专有技能,或许公共服务项目有特别的条件,导致只能从某一特定供货商处收购;包含不行预见的紧急状况;确保原有项目一致性或服务配套;以及投标失利等状况。
而从“zycgr22011903”曩昔一段时间的半导体相关开标状况去看,该主体在半导体范畴别离投标了包含晶圆清洗机、椭偏仪、等离子体增强化学气相堆积(PECVD)、原子层刻蚀设备(ALE)、电子束光刻机中标公告。
从金额来看,上海微电子约1.1亿元的中标金额,与很多光刻机相关投标,总计百万或小千万等级的中标金额有较大距离。
另一方面,全球闻名光刻机企业阿斯麦的光刻机整机价格,DUV和EUV光刻机别离在5亿元人民币和10亿元人民币以上,价格依然远高于上海微电子。
其他国内光刻机发展方面,本年以来,哈尔滨工业大学成功研制13.5nm极紫外光刻光源,中科院上海光机所的深紫外光源体系提高工艺极限至3纳米理论值。种种痕迹显现,我国在光刻机范畴正取得突破性发展。
而相关中标信息也敏捷在长时间资金商场掀起波涛,当天午后光刻机概念即异动拉升,张江高科直线%,国风新材直线涨停,华软科技、华融化学、高盟新材等概念股也均有冲高体现。
值得注意的是,本年以来光刻机板块遭到资金火热追捧,年内涨幅已超76%;其间,48只概念股已有13股年内股价完成翻倍。
(声明:文章的主要内容仅供参考,不构成出资主张。出资者据此操作,危险自担。)


